![]() | ![]() |
2003 | ||
---|---|---|
1 | EE | M. Massi, J. M. J. Ocampo, H. S. Maciel, K. Grigorov, C. Otani, L. V. Santos, Ronaldo Domingues Mansano: Plasma etching of DLC films for microfluidic channels. Microelectronics Journal 34(5-8): 635-638 (2003) |
1 | K. Grigorov | [1] |
2 | H. S. Maciel | [1] |
3 | Ronaldo Domingues Mansano | [1] |
4 | M. Massi | [1] |
5 | J. M. J. Ocampo | [1] |
6 | C. Otani | [1] |