S. P. Lee

2008
1	EE	A. G. Chao, S. T. Tseng, D. S. H. Wong, S. S. Jang, S. P. Lee: Systematic applications of multivariate analysis to monitoring of equipment health in semiconductor manufacturing. Winter Simulation Conference 2008: 2330-2334

Coauthor Index

1	A. G. Chao	[1]
2	S. S. Jang	[1]
3	S. T. Tseng	[1]
4	D. S. H. Wong	[1]